ΝΑΝΟΔΟΜΕΣ ΠΥΡΙΤΙΟΥ ΓΙΑ ΟΠΤΟΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΕΣ ΕΦΑΡΜΟΓΕΣ.

Περίληψη

ΣΚΟΠΟΣ ΤΗΣ ΕΡΓΑΣΙΑ ΑΥΤΗΣ ΗΤΑΝ Η ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΚΑΙ ΜΕΛΕΤΗ ΚΑΛΑ ΟΡΙΣΜΕΝΩΝ ΝΑΝΟΔΟΜΩΝ ΠΥΡΙΤΙΟΥ, ΩΣΤΕ ΝΑ ΜΕΛΕΤΗΘΟΥΝ ΤΑ ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΑ ΣΕ ΣΧΕΣΗ ΜΕ ΤΑ ΘΕΩΡΗΤΙΚΑ ΜΟΝΤΕΛΑ ΚΑΙ ΤΟ ΠΟΡΩΔΕΣ ΠΥΡΙΤΙΟ. Η ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΞΕΚΙΝΑ ΜΕ ΤΗΝ ΔΗΜΙΟΥΡΓΙΑ ΤΗΣ ΑΡΧΙΚΗΣ ΜΑΣΚΑΣ ΜΕ ΛΙΘΟΓΡΑΦΙΑ ΥΨΗΛΗΣ ΑΝΑΛΥΣΗΣ ΜΕ ΤΗΝ ΧΡΗΣΗ ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗΣ ΔΕΣΜΗΣ Η ΛΙΘΟΓΡΑΦΙΑ ΣΕ ΒΑΘΥ ΥΠΕΡΙΩΔΕΣ ΜΕ ΕΠΙΦΑΝΕΙΑΚΗ ΑΠΕΙΚΟΝΗΣΗ, ΠΥΡΙΤΙΔΙΩΣΗ ΚΑΙ ΞΗΡΗ ΕΜΦΑΝΙΣΗ ΣΤΗΝ ΣΥΝΕΧΕΙΑ ΧΑΡΑΞΑΜΕ ΑΝΙΤΡΟΠΙΚΑ ΤΟ ΥΠΟΣΤΡΩΜΑ ΠΥΡΙΤΙΟΥ, ΧΡΗΣΙΜΟΠΟΙΩΝΤΑΣ ΜΙΑ ΠΡΟΤΟΤΥΠΗ ΣΥΝΤΑΓΗ ΠΟΥ ΑΝΑΠΤΥΞΑΜΕ ΜΕ ΒΑΣΗ ΠΛΑΣΜΑ ΦΘΟΡΙΟΥΧΩΝ ΑΕΡΙΩΝ ΜΟΝΟ. ΜΕ ΤΟΝ ΤΡΟΠΟ ΑΥΤΟ ΠΗΡΑΜΕ ΔΟΜΕΣ ΠΥΡΙΤΙΟΥ ΜΕ ΔΙΑΣΤΑΣΕΙΣ ΜΕΧΡΙ 40 NM ΚΑΙ ΛΟΓΟ ΥΨΟΥΣ ΠΡΟΣ ΔΙΑΜΕΤΡΟ 50:1 ΟΙ ΔΟΜΕΣ ΑΥΤΕΣ ΛΕΠΤΥΝΘΗΚΑΝ ΣΕ ΜΕΡΙΚΑ NM ΜΕΣΩ ΜΙΑΣ ΔΙΕΡΓΑΣΙΑΣ ΑΥΤΟΤΕΡΜΑΤΙΖΟΜΕΝΗΣ ΘΕΡΜΙΚΗΣ ΟΞΕΙΔΩΣΗΣ. ΦΑΣΜΑΤΟΣΚΟΠΙΚΕΣ ΑΝΑΛΥΣΕΙΣ ΑΠΕΔΕΙΞΑΝ ΤΗΝ ΚΡΥΣΤΑΛΛΙΚΟΤΗΤΑ, ΕΛΛΕΙΨΗ ΞΕΝΩΝ ΠΡΟΣΜΙΞΕΩΝ ΚΑΙ ΚΑΘΑΡΟΤΗΤΑ ΤΩΝ ΔΟΜΩΝ ΜΑΣ, ΕΝΩ ΠΕΙΡΑΜΑΤΑ ΦΩΤΟΦΩΤΑΥΓΕΙΑΣ ΕΔΩΣΑΝ ΕΝΤΟΝΟ ΣΗΜΑ ΣΤΟ ΟΡΑΤΟ ΜΕΤΑΞΥ 670-550 NM, ΑΝΕΞΑΡΤΗΤΑ ΑΠΟ ΤΟ ΥΛΙΚΟ ΑΔΡΑΝΟΠΟΙΗΣΗΣ. ΤΑ ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΑ ΑΥΤΑ ΕΠΙ ...
περισσότερα

Περίληψη σε άλλη γλώσσα

IN THIS WORK WE FABRICATED AND STUDIED THE PROPERTIES OF SILICON NANOWIRES USING CONVENTIONAL METHODS. THE FABRICATION PROCESS STARTED WITH HIGH RESOLUTIONLIFHOGRAPHY OBTAINED EITHER WITH ELECTRON BEAM LIFHOGRAPHY IN A DEEP-UV STEPPER USING A SURFACE IMAGING PROCESS. TAKING ADVANTAGE OF THE HIGH ANISOTROPIC DEVELOPMENT PROCESS OF THE SLYLATED PHOTORESIST WE WERE ABLE TO CREATE STRUCTURES WITH DIMENSIONS DOWN TO 40NM, BY APPLYING EXPOSURE AND DEVELOPMENT TRICKS. AFTER THE CREATION OF THE INITIAL MASK WE ANISOTROPICALLY DRY ETCHED THE SILICON SUBSTRATE USING FLNORINE-ONLY CONTAINING GOSES. BY THIS NOVEL ETCLUNG PROCESS THAT WE DEVELOPED WE WERE ABLE TO CRETE SILICON PILLARS AND WALLS WITH ASPECT RATIOS UP TO 50:1. THESE STRUCTURES WERE FURTHER THINNED BY THERMAL OXIDATION AND OXIDE REMOVAL. WE HAVE SHOWN THAT PROCESS IS SELL LIMITED LEADING TO THE CREATION OF A CRYSTALLINE SILICON CORE OF DIMENSIONS OF SOME NM, DEPANDING ON THE INITIAL DIMENSIONS AND OXITATION TEMPERA ...
περισσότερα

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/9159
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/9159
ND
9159
Συγγραφέας
Γρηγορόπουλος, Σπύρος
Ημερομηνία
1997
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Γενικό
Εξεταστική επιτροπή
ΑΝΑΣΤΑΣΑΚΗΣ Ε.
ΑΒΑΡΙΤΣΙΩΤΗΣ Ι.
ΔΡΗΣ Ε.
ΜΟΔΙΝΟΣ Α.
ΠΑΠΑΙΩΑΝΝΟΥ Γ.
ΡΑΠΤΗΣ Κ.
ΡΑΠΤΗΣ Ι.
ΝΑΣΙΟΠΟΥΛΟΥ Α.
Επιστημονικό πεδίο
Επιστήμες Μηχανικού και ΤεχνολογίαΜηχανική Υλικών
Λέξεις-κλειδιά
ΑΝΙΣΟΤΡΟΠΙΚΗ ΧΑΡΑΞΗ; ΑΥΞΗΣΗ ΕΝΕΡΓΕΙΑΚΟΥ ΧΑΣΜΑΤΟΣ; ΕΚΠΟΜΠΗ ΦΩΤΟΣ; ΕΠΙΠΕΔΟΠΟΙΗΣΗ; ΕΠΙΦΑΝΕΙΑΚΗ ΑΔΡΑΝΟΠΟΙΗΣΗ; Θερμική οξείδωση; Κβαντικά φαινόμενα; Λιθογραφία; Νανοδομές; Νανονήματα; Οπτοηλεκτρονικές διατάξεις; Πυρίτιο; ΦΘΟΡΙΟΥΧΑ ΑΕΡΙΑ
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
207 σ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)