ΠΟΛΥΜΕΤΑΒΛΗΤΟΣ ΣΤΑΤΙΣΤΙΚΟΣ ΠΟΙΟΤΙΚΟΣ ΕΛΕΓΧΟΣ. ΕΦΑΡΜΟΓΗ ΣΤΗ ΒΙΟΜΗΧΑΝΙΑ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗΣ ΟΛΟΚΛΗΡΩΜΕΝΩΝ ΚΥΚΛΩΜΑΤΩΝ

Abstract

ΕΝΑ ΠΡΟΗΓΜΕΝΟ ΠΛΗΡΟΦΟΡΙΑΚΟ ΣΥΣΤΗΜΑ ΠΟΛΥΜΕΤΑΒΛΗΤΗΣ ΣΤΑΤΙΣΤΙΚΗΣ ΑΝΑΛΥΣΗΣ (MUST- MULTIVARIATE STATISTICAL QUALITY CONTROL IN IC MANUFACTURING) ΣΧΕΔΙΑΣΤΗΚΕ ΚΑΙ ΑΝΑΠΤΥΧΘΗΚΕ ΓΙΑ ΝΑ ΠΡΟΣΦΕΡΕΙ ΟΙΚΟΝΟΜΙΚΟ ΚΑΙ ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΙΚΟ ΠΟΙΟΤΙΚΟ ΕΛΕΓΧΟ ΣΤΗ ΒΙΟΜΗΧΑΝΙΑ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗΣ ΟΛΟΚΛΗΡΩΜΕΝΩΝ ΚΥΚΛΩΜΑΤΩΝ (ΟΚ). ΤΟ ΣΥΣΤΗΜΑ MUST ΑΠΟΤΕΛΕΙΤΑΙ ΑΠΟ ΔΥΟ ΥΠΟΣΥΣΤΗΜΑΤΑ: ΥΠΟΣΥΣΤΗΜΑ VARGROUP (VARIABLE GROUPING) ΟΠΟΥ ΙΣΤΟΡΙΚΕΣ ΜΕΤΡΗΣΕΙΣ ΕΠΕΞΕΡΓΑΖΟΝΤΑΙ ΒΑΣΗ ΤΗΣ ΑΝΑΛΥΣΗΣ ΟΜΑΔΟΠΟΙΗΣΗΣ ΜΕΤΑΒΛΗΤΩΝ ΩΣΤΕ ΝΑ ΜΕΙΩΘΟΥΝ ΟΙ ΔΙΑΣΤΑΣΕΙΣ ΚΑΙ ΝΑ ΕΥΡΕΘΕΙ ΕΝΑ ΣΥΝΟΛΟ ΑΠΟ ΟΜΑΔΕΣ ΜΕΤΑΒΛΗΤΩΝ, ΜΙΚΡΟΤΕΡΟ ΑΠΟ ΤΟ ΑΡΧΙΚΟ ΣΥΝΟΛΟ ΤΩΝ ΜΕΤΑΒΛΗΤΩΝ, ΑΛΛΑ ΙΚΑΝΟ ΝΑ ΠΕΡΙΓΡΑΨΕΙ ΙΚΑΝΟΠΟΙΗΤΙΚΑΤΗΝ ΟΛΙΚΗ ΜΕΤΑΒΛΗΤΟΤΗΤΑ ΠΟΥ ΠΑΡΟΥΣΙΑΖΟΥΝ ΤΑ ΔΕΔΟΜΕΝΑ. ΜΕ ΤΟ ΥΠΟΣΥΣΤΗΜΑ MVCC (MULTI VARIATE CONTROL CHARTS) ΕΠΕΞΕΡΓΑΖΟΝΤΑΙ ΤΑ ΤΡΕΧΟΝΤΑ ΔΕΔΟΜΕΝΑ ΚΑΙ ΚΑΤΑΣΚΕΥΑΖΕΤΑΙ ΕΝΑ ΔΙΑΓΡΑΜΜΑ ΕΛΕΓΧΟΥ (ΔΕ) ΓΙΑ ΚΑΘΕ ΟΜΑΔΑ ΠΟΥ ΠΑΡΑΓΕΤΑΙ ΑΠΟ ΤΟ VARGROUPΥΠΟΣΥΣΤΗΜΑ. ΕΞΕΤΑΖΕΤΑΙ Η ΠΡΟΣΑΡΜΟΣΤΙΚΟΤΗΤΑ ΤΩΝ ΔΙΑΦΟΡΩΝ ΤΡΟΠΩΝ ΕΦΑΡΜΟΓΗΣ ΤΩΝ ΠΟΛΥΜΕΤΑΒΛΗΤΩΝ ΔΕ Τ2 (ΤΟΥ HOTELLING) ΣΤΗ ΚΑΤΑΣΚΕΥΗ ΟΚ ΚΑΙ ΕΙΣΑΓΕΤΑΙ ΜΙΑ ΚΑΤΑΛΛΗΛΗ (ΓΙΑ ΑΥΤΗ ΤΗΝ ΕΙΔΙΚΗ ΠΑΡΑΓΩΓΙΚΗ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΑ ΜΕ ΠΟΛΛΕΣ ΠΗΓΕΣ ΜΕΤΑΒΛΗΤΟΤΗΤΑΣ)ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΑ ΕΛΕΓΧΟΥ. ΟΙ ΕΚΤΟΣ ΕΛΕΓΧΟΥ ΚΑΤΑΣΤΑΣΕΙΣ ΠΟΥ ΣΗΜΑΤΟΔΟΤΟΥΝΤΑΙ ΑΠΟ ΤΑ Τ2-ΔΕ ΕΠΕΞΗΓΟΥΝΤΑΙ ΜΕ ΜΙΑ ΝΕΑ ΑΚΡΙΒΗ ΜΕΘΟΔΟ, ΤΗ MOCA (MULTIVARIATE OUT OF CONTROL ANALYZER). Η ΜΕΘΟΔΟΣ ΑΥΤΗ ΕΙΝΑΙ ΕΦΑΡΜΟΣΙΜΗ ΚΑΙ ΓΙΑ ΤΙΣ ΔΥΟ ΠΕΡΙΠΤΩΣΕΙΣ, ΓΝΩΣΤΩΝ ΚΑΙ ΑΓΝΩΣΤΩΝ ΤΥΠΙΚΩΝ ΤΙΜΩΝ, ΒΑΣΙΖΕΤΑΙ ΣΤΗ ΠΑΡΑΤΗΡΗΣΗ ΤΟΥ ΠΟΛΥΔΙΑΣΤΑΤΟΥ ΕΛΛΕΙΨΟΕΙΔΟΥΣ ΔΙΑΓΡΑΜΜΑΤΟΣ ΕΛΕΓΧΟΥ, ΚΑΙ ΕΙΝΑΙ ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΙΚΟΤΕΡΗ ΤΩΝ ΥΠΑΡΧΟΥΣΩΝ ΜΕΘΟΔΩΝ. (ΠΕΡΙΚΟΠΗ ΠΕΡΙΛΗΨΗΣ)

AN ADVANCED MULTIVARIATE STATISTICAL ANALYSIS SYSTEM (MUST-MULTIVARIATE STATISTICAL QUALITY CONTROL IN IC MANUFACTURING) HAS BEEN DESIGNED AND DEVELOPED TO SUPPORT COST-EFFECTIVE QUALITY CONTROL IN IC FABRICATION. THE MUST SYSTEM IS COMPOSED OF TWO SUBSYSTEMS: VARGROUP (VARIABLE GROUPING) SUBSYSTEM, WHERE, VARIABLE CLUSTER ANALYSIS IS USED ON HISTORICAL MEASUREMENTS IN ORDER TO REDUCE DIMENSIONALITY AND TO PROVIDE A SET OF CLUSTERS, SMALLER THAN THE ORIGINAL SET OFVARIABLES BUT STILL CAPABLE TO EXPLAIN SUFFICIENTLY THE DATA VARIABILITY. MVCC (MULTI VARIATE CONTROL CHARTS) SUBSYSTEM IS PERFORMING ON REAL DATA AND CONSTRUCTS ONE CONTROL CHART FOR EACH CLUSTER PRODUCED BY VARGROUP SUBSYSTEM. THE FITNESS OF THE VARIOUS TYPES OF THE HOTELLING'S T2 MULTIVARIATE CONTROL CHART IN THE INTEGRATED CIRCUITS (ICS) FABRICATION IS EXAMINED AND AN APPROPRIATE (TO THIS PARTICULAR MANUFACTURING PROCESS WITH MANY SOURCES OF VARIABILITY) CONTROL PROCEDURE IS INTRODUCED. OUT OF CONTROL SIGNALS INDICATED BY T2 CONTROL CHARTS ARE EXPLAINED BY A NEW ACCURATE METHOD; MOCA (MULTIVARIATE OUT OF CONTROLANALYZER). THIS METHOD IS APPLICABLE FOR BOTH CASES OF KNOWN AND UNKNOWN STANDARD VALUES, AND IS BASED ON THE GRAPHICAL OBSERVATION OF THE MULTIDIMENSIONALELLIPSOID CONTROL CHART. ITS PERFORMANCE IS SUPERIOR TO THE EXISTING METHODS.REAL TEST DATA TAKEN ON THE WAFER'S FIVE TEST STRUCTURES ARE USED TO ILLUSTRATE THE THEORETICAL ASPECTS AND TO EVALUATE THE SYSTEM.