Μικρο-ρευστομηχανική για χημική και βιολογική μικρο-ανάλυση: αλληλεπίδραση πολυμερών με πλάσμα αερίων για την εκλεκτική εγχάραξη και τροποποίηση αυτών

Περίληψη

Η κατασκευή πλαστικών μικρορευστομηχανικών διατάξεων αποτελεί τελευταία ένα πεδίο έντονης ερευνητικής δραστηριότητας, με πολλά παραδείγματα πρακτικών αναλυτικών εφαρμογών. Η λειτουργική τους αποτελεσματικότητα και η εμπορική τους επιτυχία εξαρτάται σε μεγάλο βαθμό από τις χρησιμοποιούμενες διαδικασίες κατασκευής και γι αυτές χρησιμοποιούνται σε μεγάλο βαθμό κλασικές διεργασίες μικροηλεκτρονικής. Μια τέτοια είναι και η κατεργασία με πλάσμα αερίων, με την οποία μπορεί όχι μόνο να σχηματοποιηθεί μια επιφάνεια όπως στη μικροηλεκτρονική, αλλά και να τροποποιηθεί φυσικοχημικά. Στην εργασία αυτή μελετάται η κατασκευή πλαστικών μικρορευστομηχανικών διατάξεων για χημική και βιολογική μίκρο-ανάλυση, με χρήση διεργασιών πλάσματος, τόσο για την κατασκευή τους όσο και για την τροποποίηση των επιφανειών τους. Η διάνοιξη των μίκρο-καναλιών σε πολυ(μεθακρυλικό μεθύλιο) PMMA γίνεται με εγχάραξη σε περιβάλλον πλάσματος Οξυγόνου με τη χρήση κατάλληλης λιθογραφημένης μάσκας από πυριτιούχο πολυμερές π.χ. π ...
περισσότερα

Περίληψη σε άλλη γλώσσα

Fabrication of polymeric microfluidics has attracted much scientific research attention lately, due to the numerous of analytical applications. Their functional and commercial feasibility depends strongly on the fabrication procedures, some of which are typical microelectronic processes. Plasma processing may be utilized not only to pattern a surface, as in microelectronics, but also to modify its physicochemical properties. In this work we study the application of plasma processing in microfluidics fabrication and their surface modification. We focus on poly(methyl methacrylate)-PMMA. The micro-channel is engraved on PMMA by employing Oxygen plasma etching, through a patterned Si-containing, e.g. poly(dimethyl siloxane)-PDMS, photopolymer (in situ mask) in a bilayer lithography scheme. The differential plasma etching rate (ER) of PMMA and PDMS (ERPMMA>ERPDMS) enables pattern transfer (selective etching), while the PMMA surface is simultaneously modified. The objectives are to (a) stud ...
περισσότερα
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/16214
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/16214
Εναλλακτικός τίτλος
Microfluidics in chemical and biological microanalysis: interaction of polymers with gaseous plasmas for their selective etching and modification
Συγγραφέας
Βούρδας, Νικόλαος Εμμανουήλ
Ημερομηνία
2007
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων (ΙΙ)
Εξεταστική επιτροπή
Μπουντουβής Ανδρέας
Ευσταθίου Κωνσταντίνος
Θεοδώρου Δώρος
Μαθιουλάκης Δημήτριος
Ματαράς Δημήτριος
Τσουκαλάς Δημήτριος
Υφαντής Δημήτριος
Επιστημονικό πεδίο
Μηχανική & Τεχνολογία
Επιστήμες Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Εγχάραξη; Πυριτιούχα πολυμερή; Πλάσμα οξυγόνου; Τραχύτητα; Νάνο-ύφανση; Υδροφιλικότητα; Υπέρ-υδροφοβικότητα; Μικρορευστομηχανικές διατάξεις; Ηλεκτροοσμωτική ροή; Φασματοσκοπική ελλειψομετρία
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
198 σ., εικ.