Λεπτά υμένια πυριτίου και η εφαρμογή τους σε αισθητήρες πίεσης

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/13477
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/13477
ND
13477
Εναλλακτικός τίτλος
Silicon thin films and their application in pressure sensors
Συγγραφέας
Γουστουρίδης, Δημήτριος
Ημερομηνία
2000
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών (ΤΕΜΦΕ)
Εξεταστική επιτροπή
Αβαριτσιώτης Ιωάννης
Δρής Εμμανουήλ
Ζούμπουλης Ηλίας
Λιαροκάπης Ευθύμιος
Ράπτης Ιωάννης
Ράπτης Κωνσταντίνος
Τσουκαλάς Δημήτριος
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές Επιστήμες
Φυσική
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία
Μηχανική Υλικών
Λέξεις-κλειδιά
Πυρίτιο; Αισθητήρες πίεσης; Μικρομηχανική; Θερμική συγκόλληση πυριτίου; Ανισοτροπική εγχάραξη πυριτίου
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
xv, 222 σελ., εικ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στους συνδεδεμένους στο σύστημα χρήστες οι οποίοι έχουν αλληλεπιδράσει με τη διδακτορική διατριβή. Ως επί το πλείστον, αφορά τις μεταφορτώσεις.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)