Λεπτά υμένια πυριτίου και η εφαρμογή τους σε αισθητήρες πίεσης
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/13477
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/13477
Εναλλακτικός τίτλος
Silicon thin films and their application in pressure sensors
Συγγραφέας
Γουστουρίδης, Δημήτριος
Ημερομηνία
2000
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών (ΤΕΜΦΕ)
Εξεταστική επιτροπή
Αβαριτσιώτης Ιωάννης
Δρής Εμμανουήλ
Ζούμπουλης Ηλίας
Λιαροκάπης Ευθύμιος
Ράπτης Ιωάννης
Ράπτης Κωνσταντίνος
Τσουκαλάς Δημήτριος
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές Επιστήμες
Λέξεις-κλειδιά
Πυρίτιο; Αισθητήρες πίεσης; Μικρομηχανική; Θερμική συγκόλληση πυριτίου; Ανισοτροπική εγχάραξη πυριτίου
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
xv, 222 σελ. : εικ., πίνακες