Βελτιστοποίηση της χημικής ενάποθεσης μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος μεταβλητής ραδιοσυχνότητας
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/12522
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/12522
Εναλλακτικός τίτλος
Optimization of microcrystalline silicon deposition process in variable radio-frequency plasma reactor
Συγγραφέας
Αμανατίδης, Ελευθέριος
Ημερομηνία
2001
Ίδρυμα
Πανεπιστήμιο Πατρών. Σχολή Πολυτεχνική. Τμήμα Χημικών Μηχανικών. Τομέας Επιστήμης και Τεχνολογίας Υλικών. Εργαστήριο Χημείας Πλάσματος
Εξεταστική επιτροπή
Ραπακούλιας Δημήτριος
Βερύκιος Ξενοφών
Βομβορίδης Ιωάννης
Μπουντούβης Αντρέας
Ματαράς Δημήτριος
Μπογοσιάν Σογομων
Επιστημονικό πεδίο
Μηχανική & Τεχνολογία
Επιστήμες Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Χημική εναπόθεση πλάσματος; Μικροκρυσταλλικό πυρίτιο; Ηλεκτρικές εκκενώσεις; Σιλάνιο; Ράδιο-συχνότητα; Αντιδραστήρες πλάσματος; Φωτοβολταϊκές ιδιοσυσκευές
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά