ΟΠΤΙΚΕΣ ΙΔΙΟΤΗΤΕΣ ΛΕΠΤΩΝ ΥΜΕΝΙΩΝ Α-SI:H, ΜC-SI:H ΚΑΙ POLY-SI

Περίληψη

THIN FILMS OF Α-SI:H AND LAYERED STRUCTURES OF ΜC-SI:H/Α-SI:H GROWN BY RF MAGNETRON SPUTTERING AS WELL AS POLY-SI THIN FILMS PREPARED BY RECRYSTALLIZATIONOF LPCVD Α-SI HAVE BEEN STUDIED WITH THE OPTICAL AND NON-DESTRUCTIVE TECHNIQUE OS SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY (S.E.) AND RAMAN SPECTROSCOPY (R.S.). IN THECASE OF Α-SI:H AND ΜC-SI:H/Α-SI:H FILMS, THE INFLUENCE OF THE SI-H BONDS ON THE OPTICAL PROPERTIES AND THE STRUCTURAL CHARACTERISTICS OF THESE FILMS, HASBEEN STUDIED. ON THE OTHER HAND, THE ROLE OF THE HYDROGEN ON THE TRANSFORMATION PROCESS OF THE Α-SI TO ΜC-SI HAS BEEN STUDIED WHILE A DEPENDANCE OF THE PARAMETERS DESCRIBED THE ELECTRONIC PROPERTIES OF ΜC-SI:H ON THE CRYSTALLIC SIZE HAS BEEN ALSO STUDIED. IN THE CASE OF POLY-SI FILMS, THE INFLUENCE OF THE GROWTH PARAMETERS ON THE CRYSTALLITE SIZE HAS BEEN STUDIED WHILE THE FORMATION A SILICON-OXYNITRIDE LAYER ON THE SURFACE OF POLY-SI HAS BEEN DEMONSTRATED. FURTHERMORE, THE RESIDUAL STRESSES IN THE POLY-SI F ...
περισσότερα
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/3012
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/3012
Συγγραφέας
ΜΠΟΥΛΤΑΔΑΚΗΣ, ΣΤΥΛΙΑΝΟΣ
Ημερομηνία
1994
Ίδρυμα
Αριστοτέλειο Πανεπιστήμιο Θεσσαλονίκης (ΑΠΘ). Σχολή Θετικών Επιστημών. Τμήμα Φυσικής
Εξεταστική επιτροπή
ΛΟΓΟΘΕΤΙΔΗΣ ΣΤΕΡΓΙΟΣ
ΒΕΣ ΣΩΤΗΡΗΣ
ΚΑΝΕΛΛΗΣ ΙΩΑΝΝΗΣ
ΣΠΥΡΙΔΕΛΗΣ ΙΩΑΝΝΗΣ
ΘΕΟΔΩΡΟΥ ΓΕΩΡΓΙΟΣ
ΣΤΟΙΜΕΝΟΣ ΙΩΑΝΝΗΣ
ΣΙΑΠΚΑΣ ΔΗΜΗΤΡΙΟΣ
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές Επιστήμες
Φυσική
Λέξεις-κλειδιά
Άμορφο υδρογονωμένο πυρίτιο (Α-SI:H); ΔΕΣΜΟΙ ΠΥΡΙΤΙΟΥ-ΥΔΡΟΓΟΝΟΥ; Διηλεκτρική συνάρτηση; ΕΝΑΠΟΜΕΝΟΥΣΕΣ ΤΑΣΕΙΣ; Μικροκρυσταλλικό Υδρογονωμένο Πυρίτιο (ΜC-SI:H); Οπτικές ιδιότητες; ΠΟΛΥΚΡΥΣΤΑΛΛΙΚΟ ΠΥΡΙΤΙΟ (POLY-SI); ΦΑΣΜΑΤΟΣΚΟΠΙΚΗ ΕΛΛΕΙΨΟΜΕΤΡΙΑ, ΦΑΣΜΑΤΟΣΚΟΠΙΑ RAMAN
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά