Ανάπτυξη συστήματος ανίχνευσης υδρογόνου με βάση λεπτά υμένια NiO και TiO2, και μελέτη λεπτών υμενίων ZnO για την οπτοηλεκτρονική

Περίληψη

Σκοπός της παρούσας διατριβής είναι η ανάπτυξη συστήματος ανίχνευσης υδρογόνου με βάση λεπτά υμένια NiO και TiO2, και μελέτη λεπτών υμενίων ZnO για την οπτοηλεκτρονική. Αρχικά για τη μελέτη των λεπτών υμενίων με στόχο τη χρήση τους σε αισθητήρες αερίων αναπτύχθηκε σύστημα ανίχνευσης (πειραματική διάταξη). Για τη δοκιμή του συστήματος μελετήθηκαν αρχικά μικροαισθητήρες NiO σε προβιομηχανικό στάδιο. Επίσης αναπτύχθηκε σύστημα (μετρητική διάταξη) για τη μέτρηση της ειδικής ηλεκτρικής αντίστασης με τη μέθοδο των τεσσάρων σημείων, καθώς είναι σημαντικό μέγεθος που καθορίζει τη χρήση λεπτών υμενίων σε οπτοηλεκτρονικές διατάξεις. Μονοστρωματικά υμένια NiO (ημιαγωγός τύπου p) αναπτύχθηκαν με τη μέθοδο της Παλμικής Εναπόθεσης με laser με στόχο την εφαρμογή τους ως το υλικό ανίχνευσης σε αισθητήρες αερίων. Μελετήθηκε η επίδραση των συνθηκών εναπόθεσης των υμενίων στις ιδιότητες του NiO και στην ανίχνευση υδρογόνου (θερμοκρασία υποστρώματος και πίεση οξυγόνου στο θάλαμο). Αφού βελτιστοποιήθηκε το ...
περισσότερα

Περίληψη σε άλλη γλώσσα

At this thesis the development of a hydrogen sensing system based on NiO and TiO2 thin films and study of ZnO thin films for optoelectronics is studied. For the study of thin films for the application to gas sensors an apparatus was developed. For testing the correct operation of the system, NiO microsensors were studied. In addition, a device for the four-point measurement of resistivity was developed, as resistivity is very important for the determination of a thin film to be applied to optoelectronics. One-layer NiO thin films (p type semiconductor) were grown by Pulsed Laser Deposition (PLD) for their application as the sensing layer to gas sensors. The effect of the deposition parameters on hydrogen sensing was studied (substrate temperature and oxygen pressure during deposition). Since the deposition parameters were optimized, the effect of gold nanoparticles to properties of NiO and hydrogen sensing were studied. The incorporation of nanoparticles to nickel oxide was realized wi ...
περισσότερα
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/18512
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/18512
Εναλλακτικός τίτλος
Development of hydrogen sensing system based on NiO and TiO2 thin films and study of ZnO thin films for optoelectronics
Συγγραφέας
Φασάκη, Ιωάννα Σταύρος
Ημερομηνία
2009
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας ΙΙΙ : Επιστήμης και Τεχνικής των Υλικών
Εξεταστική επιτροπή
Ρουμπάνη-Καλαντζοπούλου Φανή
Κομπίτσας Μιχαήλ
Χαριτίδης Κωνσταντίνος
Δημοτίκαλη Δήμητρα
Θεοδώρου Δώριος
Κουή Μαρία
Μουσδής Γεώργιος
Επιστημονικό πεδίο
Μηχανική & Τεχνολογία
Επιστήμες Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Λεπτά υμένια; Οξείδιο νικελίου; Οξείδιο ψευδαργύρου ZnO; Οξείδιο τιτανίου; Αισθητήρες αερίων; Ανίχνευση υδρογόνου; Οπτοηλεκτρονική; Παλμική εναπόθεση με laser; Ανάπτυξη μετρητικών διατάξεων
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
242 σ., εικ.