Χημική εναπόθεση από ατμό διηλεκτρικών υμενίων: εφαρμογές των υμενίων αυτών σε ηλεκτρονικές διατάξεις πυριτίου
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/13078
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/13078
Εναλλακτικός τίτλος
Chemical vapor deposition of dielectric films: applications to microelectronic devices
Συγγραφέας
Βαμβακάς, Βασίλειος
Ημερομηνία
2001
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών (ΤΕΜΦΕ)
Εξεταστική επιτροπή
Δρυς Εμμανουήλ
Μαρκάτος Νικόλαος
Ξανθάκης Γιάννης
Μπουτουβής Ανδρέας
Τσαμάκης Δημήτριος
Παπαδημητρίου Δήμητρα
Ράπτης Ιωάννης
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές Επιστήμες
Λέξεις-κλειδιά
Φασματοσκοπία; Διηλεκτρικά υμένια; Ατμός; Πυρίτιο; Διατάξεις Mofset
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
xviii, 228 σελ. : εικ., πίνακες