ΜΕΛΕΤΗ ΤΗΣ ΚΑΤΑΝΑΛΩΣΗΣ ΙΣΧΥΟΣ ΣΤΙΣ ΕΚΚΕΝΩΣΕΙΣ ΑΙΓΛΗΣ ΑΕΡΙΩΝ ΚΑΙ ΕΦΑΡΜΟΓΗ ΣΤΗΝ ΕΝΑΠΟΘΕΣΗ ΑΜΟΡΦΟΥ ΥΔΡΟΓΟΝΩΜΕΝΟΥ ΠΥΡΙΤΙΟΥ

Περίληψη

O ΣΚΟΠΟΣ ΑΥΤΗΣ ΤΗΣ ΕΡΓΑΣΙΑΣ ΕΙΝΑΙ Η ΑΝΑΠΤΥΞΗ ΜΙΑΣ ΜΕΘΟΔΟΥ ΠΡΟΣΔΙΟΡΙΣΜΟΥ ΤΗΣ ΙΣΧΥΟΣ ΠΟΥ ΚΑΤΑΝΑΛΩΝΕΤΑΙ ΣΤΙΣ ΔΙΕΡΓΑΣΙΕΣ ΤΩΝ ΕΚΚΕΝΩΣΕΩΝ ΑΙΓΛΗΣ ΡΑΔΙΟΣΥΧΝΟΤΗΤΑΣ ΜΕ ΜΕΤΡΗΣΕΙΣ ΤΑΣΗΣ ΚΑΙ ΡΕΥΜΑΤΟΣ.Η ΜΕΘΟΔΟΣ ΒΕΛΤΙΩΝΕΙ ΚΑΤΑ ΠΟΛΥ ΟΛΕΣ ΤΙΣ ΠΡΟΗΓΟΥΜΕΝΕΣ ΠΡΟΣΕΓΓΙΣΕΙΣ ΠΟΥ ΥΠΑΡΧΟΥΝ ΣΤΗ ΒΙΒΛΙΟΓΡΑΦΙΑ ΚΑΙ ΕΠΙΤΡΕΠΕΙ ΤΟΝ ΑΚΡΙΒΗ ΠΡΟΣΔΙΟΡΙΣΜΟ ΤΗΣ ΚΑΤΑΝΑΛΙΣΚΟΜΕΝΗΣ ΙΣΧΥΟΣ.Η ΜΕΘΟΔΟΣ ΔΟΚΙΜΑΣΤΗΚΕ ΜΕ ΕΠΙΤΥΧΙΑ ΣΕ ΔΥΟ ΔΙΑΦΟΡΕΤΙΚΟΥΣ ΑΝΤΙΔΡΑΣΤΗΡΕΣ ΚΑΙ ΣΤΟΝ ΕΝΑΝ ΑΠΟ ΑΥΤΟΥΣ ΣΕ ΔΥΟ ΔΙΑΦΟΡΕΤΙΚΕΣ ΓΕΩΜΕΤΡΙΚΕΣ ΔΙΑΜΟΡΦΩΣΕΙΣ.ΜΕ ΑΥΤΟΝ ΤΟΝ ΤΡΟΠΟ ΓΕΝΙΚΕΥΤΗΚΕ Η ΕΦΑΡΜΟΓΗ ΤΗΣ ΜΕΘΟΔΟΥ ΚΑΙ ΠΡΟΤΕΙΝΕΤΑΙ ΑΝΕΠΙΦΥΛΑΚΤΑ ΣΕ ΟΠΟΙΟΔΗΠΟΤΕ ΤΥΠΟ ΑΝΤΙΔΡΑΣΤΗΡΑ.ΟΙ ΗΛΕΚΤΡΙΚΕΣ ΜΕΤΡΗΣΕΙΣ ΣΥΝΔΥΑΣΤΗΚΑΝ ΜΕ ΜΕΤΡΗΣΕΙΣ ΦΑΣΜΑΤΟΓΡΑΦΙΑΣ ΜΑΖΑΣ ΣΕ ΕΚΚΕΝΩΣΕΙΣ ΑΙΓΛΗΣ ΣΙΛΑΝΙΟΥ ΓΙΑ ΤΗΝ ΕΝΑΠΟΘΕΣΗ ΑΜΟΡΦΟΥ ΥΔΡΟΓΟΝΩΜΕΝΟΥ ΠΥΡΙΤΙΟΥ (A-SI:H). ΓΙΑ ΠΡΩΤΗ ΦΟΡΑ ΜΕΛΕΤΗΘΗΚΕ Η ΚΙΝΗΤΙΚΗ ΤΗΣ ΔΙΑΣΠΑΣΗΣ ΤΟΥ ΣΙΛΑΝΙΟΥ ΣΕ ΕΝΑΝ ΠΛΗΡΩΣ ΧΑΡΑΚΤΗΡΙΣΜΕΝΟ ΑΠΟ ΗΛΕΚΤΡΙΚΗΣ ΑΠΟΨΕΩΣ ΑΝΤΙΔΡΑΣΤΗΡΑ.ΟΙ ΜΕΤΡΗΣΕΙΣ ΤΗΣ ΙΣΧΥΟΣ ΚΑΙ ΤΟΥ ΒΑΘΜΟΥ ΜΕΤΑΤΡΟΠΗΣ ΤΟΥ ΣΙΛΑΝΙΟΥ ΧΡΗΣΙΜΟΠΟΙΗΘ ...
περισσότερα

Περίληψη σε άλλη γλώσσα

THE AIM OF THIS WORK IS THE DEVELOPMENT OF A METHOD TO MEASURE THE EXACT AMOUNT OF POWER THAT IS CONSUMED IN THE RADIO FREQUENCY (13.56 MHZ) GLOW DISCHARGE PROCESSES BY MEANS OF VOLTAGE AND CURRENT MEASUREMENTS.THE METHOD IMPROVESALL THE EXISTING LITERATURE APPROACHES AND PERMITS THE DETERMINATION OF THE POWER CONSUMPTION IN A SIMPLE AND ACCURATE WAY.THE METHOD WAS TESTED WITH SUCCES IN TWO DIFFERENT REACTORS AND IN ONE OF THEM IN TWO DIFFERENT ELECTRODECONFIGURATIONS.IN THIS WAY THE APPLICATION OF THE METHOD BECAME ADMITTING OF GENERALIZATION AND IT IS IMPLICITLY RECOMMENDED OF APPLICATION IN EVERY TYPE OF PARALLEL PLATE REACTOR.THE ELECTRICAL MEASURMENTS WERE COMBINED WITH MASS SPECTROSCOPIC MEASURMENTS IN SILANE (SIH4) GLOW DISCHARGES USED FOR THE DEPOSITION OF AMORPHOUS HYDROGENATED SILICON (A-SI:H).THE KINETICS OF THE SILANE DISSOCIATION WERE STUDIED,FOR THE FIRST TIME,IN A FULLY CHARACTERIZED (FROM THE ELECTRICAL POINT OF VIEW) PLASMA CHAMBER.THE POWE ...
περισσότερα
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/11144
Εναλλακτικός τίτλος
POWER DISSIPATION STUDY IN GASEOUS GLOW DISCHARGES AND APPLICATION IN AMORPHOUSHYDROGENATED SILICON DEPOSITION
Συγγραφέας
ΣΠΗΛΙΟΠΟΥΛΟΣ, ΝΙΚΟΛΑΟΣ
Ημερομηνία
1997
Ίδρυμα
Πανεπιστήμιο Πατρών. Σχολή Πολυτεχνική. Τμήμα Χημικών Μηχανικών. Τομέας Επιστήμης και Τεχνολογίας Υλικών
Εξεταστική επιτροπή
ΡΑΠΑΚΟΥΛΙΑΣ ΔΗΜΗΤΡΙΟΣ
ΓΙΑΝΝΟΥΛΗΣ ΠΑΝΑΓΙΩΤΗΣ
ΚΑΡΑΜΠΟΥΡΝΙΩΤΗΣ ΔΗΜΗΤΡΙΟΣ
ΜΑΚΙΟΣ ΒΑΣΙΛΕΙΟΣ
ΝΙΚΟΛΟΠΟΥΛΟΣ ΠΑΝΑΓΙΩΤΗΣ
ΝΤΟΝΤΟΣ ΑΝΑΣΤΑΣΙΟΣ
ΠΟΛΙΤΗΣ ΚΩΝΣΤΑΝΤΙΝΟΣ
Επιστημονικό πεδίο
Μηχανική & Τεχνολογία
Επιστήμες Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
ΓΕΩΜΕΤΡΙΑ ΑΝΤΙΔΡΑΣΤΗΡΑ; ΕΚΚΕΝΩΣΗ ΑΙΓΛΗΣ ΡΑΔΙΟΣΥΧΝΟΤΗΤΑΣ; Εμπέδηση; ΕΝΑΠΟΘΕΣΗ ΑΜΟΡΦΟΥ ΥΔΡΟΓΟΝΩΜΕΝΟΥ ΠΥΡΙΤΙΟΥ; Ηλεκτρικά χαρακτηριστικά; Ισχύς; ΠΕΡΙΒΛΗΜΑ; Πλάσμα
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
224 σ., Παράρτημα.