Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος: μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης