Φυσικοχημεία πολυμερών σε διεργασίες αποτύπωσης σχήματος ολοκληρωμένων κυκλωμάτων: επιφανειακή απεικόνιση και εμφάνιση με ηλεκτρικές εκκενώσεις πλάσματος εποξειδωμένων πολυμερικών υλικών
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/12461
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/12461
Εναλλακτικός τίτλος
Physical chemistry of polymers in integrated circuits fabrication: surface silylation and dry development of epoxy novolac photoresists
Συγγραφέας
Τέγου, Ευαγγελία
Ημερομηνία
2000
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης. Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων
Εξεταστική επιτροπή
Ανδρεόπουλος Ανδρέας
Δημοτίκαλη Δήμητρα
Θεοδώρου Θεόδωρος
Κυρανούδης Χρήστος
Μπουντουβής Ανδρέας
Τσαμάκης Δημήτριος
Χατζηχρηστίδης Νικόλαος
Επιστημονικό πεδίο
Μηχανική & Τεχνολογία
Επιστήμες Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Φυσικοχημεία; Πολυμερή; Πυριτίωση; Θερμική ανάλυση; Ηλεκτρικές εκκενώσεις πλάσματος; Λιθογραφία ηλεκτρονικής δέσμης; Λιθογραφία; Εποξειδωμένο φωτοπολυμερικό υλικό
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
207 σελ. : εικ., πίνακες