Θεωρητική και πειραματική μελέτη μηχανισμών διάχυσης - αντίδρασης και σχηματισμού αδιάλυτου πλέγματος σε ρητίνες ηλεκτρονικής λιθογραφί...
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/9861
Εναλλακτικός τίτλος
Theoretical and experimental study of reaction diffusion mechanisms and gel formation in electron beam lithography resists
Συγγραφέας
Πάτσης, Γεώργιος
Ημερομηνία
1999
Ίδρυμα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών (ΤΕΜΦΕ)
Εξεταστική επιτροπή
Αραπογιάννη Αγγελική
Θεοδώρου Δώρος
Καγκαράκης [ΆΓΝΩΣΤΟ]
Λιαροκάπης [ΆΓΝΩΣΤΟ]
Μοδινός [ΆΓΝΩΣΤΟ]
Παπαϊωάννου [ΆΓΝΩΣΤΟ]
Πίσσης Πολύκαρπος
Επιστημονικό πεδίο
Φυσικές Επιστήμες
Λέξεις-κλειδιά
Λιθογραφία; Ρητίνες; Μοριακή προσομοίωση
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά