Έξυπνα βιομηχανικά δίκτυα και ψηφιακά δίδυμα για την βελτιστοποίηση των σφαλμάτων επικάλυψης σε προηγμένες φωτολιθογραφικές διεργασίες

Περίληψη

Η φωτολιθογραφία είναι μια διαδικασία που χρησιμοποιείται για τη μεταφορά περίπλοκων μοτίβων σε πλακίδια ημιαγωγών με τη χρήση φωτοευαίσθητων υλικών. Χρησιμεύει ως θεμελιώδης τεχνολογία στην κατασκευή ημιαγωγών, επιτρέποντας τη δημιουργία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων με ολοένα και μικρότερα μεγέθη χαρακτηριστικών. Στη φωτολιθογραφία, η απόδοση (yield) αναφέρεται στο ποσοστό των διατάξεων ημιαγωγών που πληρούν τα πρότυπα ποιότητας μετά τη διαδικασία κατασκευής, αποτελώντας κρίσιμο δείκτη αξιοπιστίας της διαδικασίας και ποιότητας του προϊόντος. Ο ρυθμός παραγωγής (throughput) , από την άλλη πλευρά, μετρά την αποτελεσματικότητα της διαδικασίας κατασκευής με την ποσοτικοποίηση του αριθμού των πλακιδίων που επεξεργάζονται μέσα σε μια δεδομένη χρονική περίοδο. Η βελτίωση της απόδοσης για την ικανοποίηση των υψηλών απαιτήσεων παραγωγής συχνά ενέχει τον κίνδυνο μείωσης του ρυθμού παραγωγής, ενώ η αποκλειστική εστίαση στην απόδοση μπορεί να επιβραδύνει τον ρυθμό παραγωγής. Αυτή η διαρκής πάλη μεταξ ...
περισσότερα

Περίληψη σε άλλη γλώσσα

Photolithography is a microfabrication process used to transfer intricate patterns onto semiconductor wafers through the use of light-sensitive materials. It serves as a foundational technology in semiconductor manufacturing, enabling the creation of integrated circuits (IC) with ever-decreasing feature sizes. In photolithography, yield refers to the percentage of semiconductor devices that meet quality and performance standards after the manufacturing process, serving as a critical indicator of process reliability and product quality. Throughput, on the other hand, measures the efficiency of the manufacturing process by quantifying the number of wafers processed within a given time period. Manufacturers constantly grapple with a fundamental dilemma: increasing throughput to meet high production demands often risks reducing yield if process parameters are compromised, while an exclusive focus on yield may slow production rates. This tension between quality and efficiency drives ongoing ...
περισσότερα

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/58982
ND
58982
Εναλλακτικός τίτλος
Smart industrial networks and digital twins for optimizing the overlay modeling in advanced photolithography processes
Συγγραφέας
Μαγκλάρας, Αριστείδης (Πατρώνυμο: Ευθύμιος)
Ημερομηνία
2025
Ίδρυμα
Πανεπιστήμιο Πατρών. Σχολή Πολυτεχνική. Τμήμα Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Τεχνολογίας Υπολογιστών
Εξεταστική επιτροπή
Μπίρμπας Αλέξιος
Αλεφραγκής Παναγιώτης
Γκόγκος Χρήστος
Χούσος Ευθύμιος
Καλύβας Γρηγόριος
Δασκαλάκη Σοφία
Μάνεσης Διονύσιος
Επιστημονικό πεδίο
Επιστήμες Μηχανικού και ΤεχνολογίαΕπιστήμη Ηλεκτρολόγου Μηχανικού, Ηλεκτρονικού Μηχανικού, Μηχανικού Η/Υ ➨ Υπολογιστές, Υλικό (hardware) και Αρχιτεκτονική
Λέξεις-κλειδιά
Υπολογιστική λιθογραφία; Φωτολιθογραφία; Σφαλματα επικάλυψης; Ψηφιακά δίδυμα
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Αγγλικά
Άλλα στοιχεία
εικ., πιν., σχημ., γραφ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στους συνδεδεμένους στο σύστημα χρήστες οι οποίοι έχουν αλληλεπιδράσει με τη διδακτορική διατριβή. Ως επί το πλείστον, αφορά τις μεταφορτώσεις.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.