Μορφολογία επιφανειών και ατελειών σε λεπτά υμένια InGaAs ανεπτυγμένα πάνω σε γειτονικά υποστρώματα

Περίληψη

Η διατριβή αυτή είναι μια μελέτη σε λεπτά υμένια InGaAs ανεπτυγμένα επιταξιακά πάνω σε vicinal υποστρώματα GaAs. Πιο συγκεκριμένα διερευνά τη μορφολογία των επιφανειών αυτών των υμενίων με τη χρήση AFM, οπτικού μικροσκοπίου Nomarski και τη σχέση αυτής της μορφολογίας με το πλέγμα των εξαρμόσεων πλεγματικής διαφοράς στην διεπιφάνεια. Η δημιουργία των δυό -καθέτων μεταξύ τους- δικτύων παραλλήλων γραμμών στην επιφάνεια μελετήθηκε και βρέθηκε ότι διαφέρει στις επιφάνειες των υμενιών που έχουν αναπτυχθεί σε vicinal υποστρώματα: στην περίπτωση αυτή τα δυο δίκτυα δεν είναι ακριβώς κάθετα μεταξύ τους, αλλά αντίθετα αντανακλάται στην επιφάνεια η διάταξη των εξαρμόσεων 60 που υπάρχουν στην διεπιφάνεια. Στα πρώτα στάδια της ανάπτυξης τα vicinal υμένια έχουν μεγαλύτερη τραχύτητα και το δίκτυο εξαρμόσεων πλεγματικής διαφοράς παρουσιάζει μεγαλύτερη συμμετρία σε σχέση με τα υμένια που είναι αναπτυγμένα σε μη κεκκλιμένα υποστρώματα, όπως παρατηρήθηκε με ΤΕΜ. Αυτό μποτρεί να εξηγηθεί από τον αυξημένο ...
περισσότερα
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/12697
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/12697
Εναλλακτικός τίτλος
Surface morphology and defects InGaAs layers grown on vicinal substrates
Συγγραφέας
Γιαννακόπουλος, Κωνσταντίνος
Ημερομηνία
1998
Ίδρυμα
United Kingdom. University of Liverpool. Faculty of Engineering. Department of Engineering
Εξεταστική επιτροπή
Humphreys Colin
Chalker Paul
Λέξεις-κλειδιά
Ετεροεπιταξιακή ανάπτυξη ημιαγωγών; Εξαρμόσεις; Υμένια; Γειτονικά υποστρώματα; Σύστημα InGaAs
Χώρα
Ηνωμένο Βασίλειο
Γλώσσα
Αγγλικά