Εφαρμογές διαγνωστικών μεθόδων πλάσματος στην παραγωγή μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυρίτιου
Πρέπει να είστε εγγεγραμένος χρήστης για έχετε πρόσβαση σε όλες τις υπηρεσίες του ΕΑΔΔ  Είσοδος /Εγγραφή

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/11678
Εναλλακτικός τίτλος
Application of plasma diagnostic methods in the production of microcrystalline hudrogenated silicon
Συγγραφέας
Στάμου, Σπυρίδων
Ημερομηνία
1999
Ίδρυμα
Πανεπιστήμιο Πατρών. Σχολή Πολυτεχνική. Τμήμα Χημικών Μηχανικών. Τομέας Επιστήμης και Τεχνολογίας Υλικών. Εργαστήριο Χημείας Πλάσματος
Εξεταστική επιτροπή
Ραπακούλιας Δημήτριος
Βαγενάς Κωνσταντίνος
Μακιός Βασίλειος
Νικολόπουλος Παναγιώτης
Κράβαρης Κωνσταντίνος
Αγγελόπουλος Γεώργιος
Μπεμπέλης Συμεών
Επιστημονικό πεδίο
Μηχανική & Τεχνολογία
Επιστήμες Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Πλάσμα; Ραδιοσυχνότητα; Σιλάνιο; Φασματοσκοπία; Μικροκρυσταλλικό Υδρογονωμένο Πυρίτιο (ΜC-SI:H)
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
310 σελ. : εικ., πίνακες